[实用新型]一种硅片原料的酸洗装置有效

专利信息
申请号: 201920309809.0 申请日: 2019-03-12
公开(公告)号: CN209736202U 公开(公告)日: 2019-12-06
发明(设计)人: 周建明 申请(专利权)人: 浙江明峰电子科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 陈娟<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 324300 浙江省衢*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种硅片原料的酸洗装置,包括清洗缸,所述清洗缸的底端通过轴承转动安装有转动圈,转动圈穿设有转动杆,所述转动杆的一端延伸至清洗缸内,所述转动杆的一端固定连接有第一放置篮,第一放置篮的底部为板式结构,第一放置篮的内壁两侧均固定连接有竖直排布的放置垫板,所述第一放置篮的一侧设有第二放置篮,第一放置篮和第二放置篮一起组成圆柱形结构,且第一放置篮和第二放置篮靠近放置垫板的两侧外壁均焊接有两个连接块,连接块均开设有十字形的通孔,第二放置篮的连接块的一侧均固定安装有保护壳,保护壳活动穿设有拉杆。本实用新型设计结构合理,操作简单,使用方便,能够方便清洗,而且清洗效果更好。
搜索关键词: 清洗缸 转动杆 本实用新型 保护壳 转动圈 垫板 圆柱形结构 板式结构 方便清洗 硅片原料 两侧外壁 内壁两侧 清洗效果 设计结构 竖直排布 酸洗装置 轴承转动 十字形 底端 拉杆 通孔 焊接 延伸
【主权项】:
1.一种硅片原料的酸洗装置,包括清洗缸(1),其特征在于,所述清洗缸(1)的底端通过轴承转动安装有转动圈(5),转动圈(5)穿设有转动杆(6),所述转动杆(6)的一端延伸至清洗缸(1)内,所述转动杆(6)的一端固定连接有第一放置篮(2),第一放置篮(2)的底部为板式结构,第一放置篮(2)的内壁两侧均固定连接有竖直排布的放置垫板(4),所述第一放置篮(2)的一侧设有第二放置篮(9),第一放置篮(2)和第二放置篮(9)一起组成圆柱形结构,且第一放置篮(2)和第二放置篮(9)靠近放置垫板(4)的两侧外壁均焊接有两个连接块(3),连接块(3)均开设有十字形的通孔,第二放置篮(9)的连接块(3)的一侧均固定安装有保护壳(11),保护壳(11)活动穿设有拉杆(10),拉杆(10)的杆体套设有弹簧(12),拉杆(10)的杆体焊接有挡块,且挡块和弹簧(12)均位于保护壳(11)内,弹簧(12)位于挡块和保护壳(11)的一端内壁之间,拉杆(10)的一端穿过第二放置篮(9)的连接块(3)延伸到另一侧,且拉杆(10)的一端固定连接有卡杆(13),且卡杆(13)的一端还穿过第一放置篮(2)的连接块(3)的通孔。/n
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