[实用新型]自动厚度控制卡盘有效
| 申请号： | 201920329058.9 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN209902731U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 柳俊圭 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q3/08 | 分类号： | B23Q3/08 |
| 代理公司： | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李罡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种自动厚度控制卡盘，其目的在于，在进行对于脆性基板的夹紧作业时，通过以压力调整代替高度调整来应对脆性基板的厚度变更，从而即使脆性基板的厚度发生变更，也能够在未进行另外的追加作业的情况下，以规定的压力夹紧脆性基板。为了实现上述目的，本实用新型所涉及的自动厚度控制卡盘包括在一侧形成有铰链接头(12)的卡盘臂(10)、在气缸(21)的后方突出的铰链块(27)与所述铰链接头(12)铰接结合的卡盘缸(20)以及从所述卡盘臂(10)的一侧延伸的底爪(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性基板 卡盘 自动厚度控制 铰链接头 变更 本实用新型 高度调整 夹紧作业 压力调整 铰链块 压力夹 底爪 铰接 盘臂 气缸 追加 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种自动厚度控制卡盘，其特征在于，包括：/n卡盘臂，一侧形成有铰链接头；/n卡盘缸，向气缸的后方突出的铰链块与所述铰链接头铰接结合；以及/n底爪，从所述卡盘臂的一侧延伸。/n
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