[实用新型]切膜装置有效
| 申请号： | 201920342976.5 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN210025469U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 谢军 | 申请（专利权）人： | 广东思沃精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B26D1/45 | 分类号： | B26D1/45;B26D7/01;H01L21/67 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种切膜装置，包括切割台、切割组件、以及用于带动切割组件移动的移动驱动组件；切割台的中部设有真空吸盘，切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽；切割组件包括与移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于切割固定台且用于驱动切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。附着于带状干膜的晶圆随着干膜带的移动并到达切割台的正上方时，切割台上的真空吸盘将晶圆吸住定位，移动驱动组件将切割组件带动至晶圆的正上方，切割驱动组件带动切刀组件沿着晶圆的边界对干膜进行切割，使得晶圆与干膜带整体分离，进而获得贴覆有干膜的成品晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 晶圆 干膜 切割组件 切割台 切刀组件 移动驱动 驱动组件 真空吸盘 固定台 本实用新型 输出端相连 切割动作 切膜装置 让位槽 移动 贴覆 吸住 附着 驱动 | ||
【主权项】：
1.切膜装置，其特征在于，包括切割台、切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件；所述切割台的中部设有真空吸盘，所述切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽；所述切割组件包括与所述移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。/n
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