[实用新型]切膜装置有效
| 申请号： | 201920342978.4 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN210025470U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 谢军 | 申请（专利权）人： | 广东思沃精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B26D1/45 | 分类号： | B26D1/45;B26D5/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种切膜装置，包括切割组件、以及用于带动切割组件移动的移动驱动组件；移动驱动组件包括支撑台、设于支撑台的第一驱动模组、与第一驱动模组的输出端相连的第二驱动模组、以及与第二驱动模组的输出端相连的第三驱动模组；切割组件包括切割固定台、切刀组件、以及设于切割固定台且用于驱动切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。移动驱动组件带动切割组件伸入贴膜装置的上型腔与下型腔之间的间隙，切割组件对完成贴膜的晶圆等待切割产品进行切膜，沿着待切割产品的边界将干膜切割实现晶圆与干膜的分离，也即无需将晶圆及干膜拉离上型腔与下型腔之间的间隙即可完成干膜的切割，简化了切膜的步骤，提升了切膜的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 切割组件 驱动模组 干膜 移动驱动 晶圆 切膜 输出端相连 切刀组件 固定台 上型腔 下型腔 支撑台 本实用新型 切割动作 切膜装置 驱动组件 组件包括 组件带动 膜装置 贴膜 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.切膜装置，其特征在于，包括切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件；所述移动驱动组件包括支撑台、设于所述支撑台的第一驱动模组、与所述第一驱动模组的输出端相连的第二驱动模组、以及与所述第二驱动模组的输出端相连的第三驱动模组；所述切割组件包括与所述第三驱动模组的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。/n
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