[实用新型]石墨盘移动机构有效
| 申请号： | 201920345963.3 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN209401604U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 向军;冯霞霞;封浩 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687;B25B11/02 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 祝进 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种石墨盘移动机构，包括用于夹紧石墨盘的夹紧组件，所述夹紧组件下端设有移动组件，所述移动组件上端固定连接在所述夹紧组件的下端，所述移动组件的下端固定设置，所述夹紧组件的进口端安装有用于储存石墨盘的料架，所述夹紧组件的左侧安装有推料组件，所述推料组件适于将料架内的石墨盘推送至夹紧组件内，以实现自动更换石墨盘的效果，从而加快生产进度，实现生产自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 夹紧组件 石墨盘 移动组件 下端 推料组件 移动机构 料架 本实用新型 生产自动化 固定设置 上端固定 生产进度 自动更换 进口端 夹紧 推送 储存 | ||
【主权项】：
1.一种石墨盘移动机构，其特征在于，包括用于夹紧石墨盘的夹紧组件（1），所述夹紧组件（1）下端设有移动组件（2），所述移动组件（2）上端固定连接在所述夹紧组件（1）的下端，所述移动组件（2）的下端固定设置；所述夹紧组件（1）的进口端安装有用于储存石墨盘的料架（3），所述夹紧组件（1）的左侧安装有推料组件（4），所述推料组件（4）适于将料架（3）内的石墨盘推送至夹紧组件（1）内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
