[实用新型]一种用于超高真空腔体的激光除垢装置

摘要

本实用新型公开了一种用于超高真空腔体的激光除垢装置，包括工作台和基座，工作台内部设有激光器、除尘装置和驱动电机，其上端面设有控制器，基座下端面设有滚轮，驱动电机与滚轮连接，还包括导光管、导尘管和除尘罩，除尘罩顶部设有通孔和连接管，除尘装置包括储尘室和真空泵，储尘室顶部设有灰尘进口和气孔，气孔内设有过滤膜，导尘管贯穿工作台的侧壁且一端与除尘罩的连接管连通另一端与储尘室的灰尘进口连通，导光管贯穿工作台的侧壁和除尘罩的通孔，且导光管与除尘罩的通孔密封连接，导光管一端与激光器连接另一端设有除垢头，除垢头位于除尘罩的内部，激光器、真空泵和驱动电机均与控制器连接。该装置具有节能环保，工作效率高的特点。

主权项

1.一种用于超高真空腔体的激光除垢装置，其特征在于，包括工作台和基座，在所述工作台的内部设有激光器、除尘装置和驱动电机，在所述工作台的上端面设有控制器，在所述基座的下端面设有滚轮，所述驱动电机的输出轴通过传输装置与滚轮的轮轴连接，还包括导光管、导尘管和除尘罩，所述除尘罩顶部设有通孔和设置于除尘罩顶部外侧且与除尘罩内部连通的连接管，所述除尘装置包括储尘室和真空泵，所述储尘室顶部设有灰尘进口和气孔，在所述气孔内设有过滤膜，所述导尘管贯穿工作台的侧壁且一端与除尘罩的连接管连通另一端与储尘室的灰尘进口连通，所述导光管贯穿工作台的侧壁和所述除尘罩的通孔，且导光管与所述除尘罩的通孔密封连接，导光管一端与激光器连接另一端设有除垢头，且除垢头位于除尘罩的内部，所述激光器、真空泵和驱动电机均与控制器连接。/n