[实用新型]单晶炉加热器提升装置有效

专利信息
申请号: 201920353274.7 申请日: 2019-03-20
公开(公告)号: CN209974960U 公开(公告)日: 2020-01-21
发明(设计)人: 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;春伟博;谭庆;黄伟 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B29/06
代理公司: 33212 杭州中成专利事务所有限公司 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及机械技术领域,具体涉及一种单晶炉加热器提升装置。包括伺服电机;伺服电机连接减速机的输入端,减速机安装在减速机支座上,减速机的输出端连接提升装置;换向器固定在底板上,换向器一端与减速机输出端连接,一端连接丝杆下端;丝杆上设有丝杆螺母,丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连;丝杆上端连接固定板,固定板上设有炉底板,炉底板上设有加热器;密封座与支撑板相连,提升杆下端装设于密封座内;提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接,本实用新型改善了以前单晶炉设备中主炉室加热器无法提升的弊端,又能保证与单晶炉整体之间的密封性。加热器随着坩埚一起提升,使传递到坩埚上的热量更均匀,而且减少了能量的损耗。
搜索关键词: 加热器 减速机 炉底板 丝杆 本实用新型 丝杆螺母 伺服电机 提升装置 上端 单晶炉 换向器 密封座 提升杆 支撑板 下端 坩埚 底板 机械技术领域 减速机输出端 单晶炉设备 减速机支座 连接固定板 输出端连接 一端连接 固定板 密封性 输入端 主炉室 装设 穿过 传递 保证
【主权项】:
1.一种单晶炉加热器提升装置,其特征在于,包括动力装置、提升装置和密封装置;/n所述动力装置包括伺服电机与减速机;伺服电机连接减速机的输入端,减速机安装在减速机支座上,减速机的输出端连接提升装置;/n所述提升装置包括底板、换向器与丝杆;换向器固定在底板上,换向器一端与减速机输出端连接,一端连接丝杆下端;丝杆上设有丝杆螺母,丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连;丝杆上端连接固定板,固定板上设有炉底板,炉底板上设有加热器;/n所述密封装置包括密封座,密封座与所述支撑板相连,提升杆下端装设于密封座内;提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接,波纹管套设于提升杆外部,波纹管顶端与炉底板相连。/n
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