[实用新型]一种电子束加工设备的磁聚焦装置有效
| 申请号： | 201920361742.5 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN209526063U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 白雁力;姚荣彬;高海英;王旬;刘达见 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | H01J37/14 | 分类号： | H01J37/14;H01J37/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西壮族自*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有真空室，所述真空室的顶部固定连接有封板，所述封板底部的中心处固定连接有电子枪，所述真空室内腔两侧的顶部和底部均设置有螺槽，所述真空室内腔的两侧均开设有定位槽，所述定位槽的内腔设置有伸缩柱。本实用新型通过设置底板、真空室、封板、电子枪、螺槽、定位槽、伸缩柱、定位装置、固定装置和磁聚焦装置主体的相互配合，达到了便于拆卸维修的优点，解决了现有的磁聚焦装置不便于拆卸维修的问题，当人们需要拆卸磁聚焦装置时，省时省力，减少了人们的劳动力，提高了人们的工作效率，从而提高了磁聚焦装置的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 磁聚焦装置 底板 定位槽 真空室 封板 电子束加工设备 本实用新型 真空室内腔 便于拆卸 电子枪 伸缩柱 螺槽 定位装置 工作效率 固定装置 维修 中心处 内腔 省时 拆卸 省力 配合 | ||
【主权项】：
1.一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有真空室(2)，所述真空室(2)的顶部固定连接有封板(3)，所述封板(3)底部的中心处固定连接有电子枪(4)，所述真空室(2)内腔两侧的顶部和底部均设置有螺槽(5)，所述真空室(2)内腔的两侧均开设有定位槽(6)，所述定位槽(6)的内腔设置有伸缩柱(7)，所述伸缩柱(7)的顶部和底部均设置有定位装置(8)，所述伸缩柱(7)顶部的内侧和底部的内侧均设置有固定装置(9)，所述伸缩柱(7)的内侧固定连接有磁聚焦装置主体(10)。
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