[实用新型]有机发光二极管的基板烘烤装置及烘烤设备

摘要

一种有机发光二极管的基板烘烤装置及有机发光二极管烘烤设备，其中有机发光二极管的基板烘烤装置包括热板、支撑机构及升降机构，所述支撑机构设置在所述热板的上方且用于支撑目标基板，所述升降机构连接所述支撑机构且用于控制所述支撑机构相对所述热板升降，所述基板烘烤装置还包括盖板、第一驱动机构和包围机构，所述盖板位于所述支撑机构上方，所述第一驱动机构用于驱动所述盖板相对所述热板升降，所述包围机构被配置为当所述支撑机构下降时，所述包围机构的底边与所述支撑机构的支撑面齐平。采用所述基板烘烤装置，可以避免目标基板四周边缘翘起的问题，有利于提高墨水材料在目标基板的成膜均匀性，有利于有机发光二极管制作中的烘烤工艺稳定性，最终能够确保有机发光二极管效率。

主权项

1.一种有机发光二极管的基板烘烤装置，包括热板、支撑机构及升降机构，所述支撑机构设置在所述热板的上方，所述支撑机构具有用于支撑目标基板的支撑面，所述升降机构连接所述支撑机构且用于控制所述支撑机构相对所述热板升降，其特征在于，所述基板烘烤装置还包括盖板、第一驱动机构和包围机构，所述盖板位于所述支撑机构上方，所述第一驱动机构用于驱动所述盖板相对所述热板升降，所述包围机构被配置为当所述支撑机构下降时，所述包围机构的底边与所述支撑机构的支撑面齐平。