[实用新型]一种ITO靶材磨外圆夹持工装有效
申请号: | 201920372048.3 | 申请日: | 2019-03-22 |
公开(公告)号: | CN209850503U | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 唐智勇 | 申请(专利权)人: | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
主分类号: | B24B5/04 | 分类号: | B24B5/04;B24B5/35;B24B41/06;B24B47/12 |
代理公司: | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 杨千寻;冯振宁 |
地址: | 412007 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种ITO靶材磨外圆夹持工装,包括底座,所述底座的顶部开设有滑槽,所述滑槽内滑动安装有第一安装板,所述滑槽的一侧内壁上开设有转动槽,所述滑槽远离转动槽的一侧内壁上开设有转动孔,所述转动槽和转动孔内转动安装有同一个螺杆,所述螺杆和第一安装板螺纹连接,所述滑槽的两侧内壁上固定安装有圆杆,所述圆杆和第一安装板滑动连接,所述底座的顶部固定安装有第二安装板,所述第一安装板和第二安装板上装有转动轴,在第一安装板、第二安装板的转动轴上分别安装有圆台状的定位块和固定块。本实用新型通过采用固定块和定位块对ITO靶材进行夹持,在打磨过程中无盲区,可一次将ITO靶材外表面完全打磨,无需调整夹持位置,加工效率高。 | ||
搜索关键词: | 安装板 滑槽 转动槽 底座 本实用新型 定位块 固定块 转动孔 转动轴 螺杆 内壁 圆杆 打磨 滑动安装 滑动连接 夹持工装 加工效率 两侧内壁 螺纹连接 转动安装 调整夹 磨外圆 无盲区 圆台状 夹持 | ||
【主权项】:
1.一种ITO靶材磨外圆夹持工装,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的顶部开设有滑槽(2),所述滑槽(2)内滑动安装有第一安装板(3),所述滑槽(2)的一侧内壁上开设有转动槽(4),所述滑槽(2)远离转动槽(4)的一侧内壁上开设有转动孔(5),所述转动槽(4)和转动孔(5)内转动安装有同一个螺杆(6),所述螺杆(6)和第一安装板(3)螺纹连接,所述滑槽(2)的两侧内壁上固定安装有圆杆(7),所述圆杆(7)和第一安装板(3)滑动连接,所述底座(1)的顶部固定安装有第二安装板(8),所述第一安装板(3)和第二安装板(8)上分别装有第一转动轴(9)和第二转动轴(10),在第一转动轴(9)和第二转动轴(10)上分别安装有圆台状的定位块(11)和固定块(12);所述第二安装板(8)的第二转动轴(10)远离定位块(11)的一端固定安装有第一齿轮(13),所述底座(1)的顶部固定安装有电机(14),所述电机(14)的输出轴上固定安装有第二齿轮(15),所述第二齿轮(15)和第一齿轮(13)相啮合。/n
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