[实用新型]一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201920403185.9 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN209906875U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 杨江滨 | 申请（专利权）人： | 咸阳秦华特种电子元器件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712000 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及电阻器技术领域，具体是一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机，包括磁悬浮分子泵、维持真空泵、罗茨真空泵、机械真空泵和工架；所述磁悬浮分子泵的左侧设置有升降电机，升降电机上安装有升降杆，升降杆的顶端转动安装有转盘，转盘的上端面设置有若干工件安装台；工件安装台包括放置板、装夹机构和卡块，装夹机构固定在放置板的上端面，放置板的下端面焊接固定有卡块，卡块卡装在转盘内，卡块与工架可拆卸连接。本实用新型结构简单、造价低廉，便于对现有设备进行改造，能够有效提高产品的真空磁控溅射镀膜加工效率，实用性极强。 | ||
| 搜索关键词： | 卡块 放置板 转盘 磁悬浮分子泵 本实用新型 工件安装台 升降电机 装夹机构 上端面 升降杆 真空磁控溅射镀膜机 真空磁控溅射镀膜 电阻器技术 机械真空泵 可拆卸连接 罗茨真空泵 焊接固定 加工效率 现有设备 转动安装 下端面 氧化膜 真空泵 电阻 卡装 改造 | ||
【主权项】：
1.一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机，包括磁悬浮分子泵(1)、维持真空泵(2)、罗茨真空泵(3)、机械真空泵(4)和工架(5)，所述磁悬浮分子泵(1)的右侧设置有维持真空泵(2)，维持真空泵(2)的右侧设置有罗茨真空泵(3)，罗茨真空泵(3)的右侧设置有机械真空泵(4)，磁悬浮分子泵(1)的上方设置有工架(5)，其特征在于：所述磁悬浮分子泵(1)的左侧设置有升降电机(6)，升降电机(6)上安装有升降杆(7)，升降杆(7)的顶端转动安装有转盘(8)，转盘(8)的上端面设置有若干工件安装台(9)；工件安装台(9)包括放置板(10)、装夹机构(11)和卡块(12)，装夹机构(11)固定在放置板(10)的上端面，放置板(10)的下端面焊接固定有卡块(12)，卡块(12)卡装在转盘(8)内，卡块(12)与工架(5)可拆卸连接。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于咸阳秦华特种电子元器件有限公司，未经咸阳秦华特种电子元器件有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920403185.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无张力磁控溅射镀膜室及织物镀膜装置
- 下一篇：一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟
- 同类专利
- 专利分类
