[实用新型]一种平面靶材有效
| 申请号： | 201920409388.9 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN209741264U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 沈登涛;曾一鑫 | 申请（专利权）人： | 信元光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 廖苑滨<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 516600 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种平面靶材，包括背板、设于所述背板上的靶材组和设于所述靶材组上的压条，所述靶材组通过所述压条可拆卸固定于所述背板上；所述靶材组包括多个成多列多行布置的子靶材，所述子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置。本实用新型提供的平面靶材通过设置由成多列多行布置且能替换位置的子靶材组成的靶材组，且靶材组可拆卸固定于所述背板上，子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置，从而因磁场强度原因造成不同位置上的子靶材消耗不同时，可以将子靶材位置进行替换，从而有效提高了利用率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 背板 压条 本实用新型 可拆卸固定 多列多行 平面靶材 上下对称 行数 靶材位置 靶材组成 强度原因 替换位置 磁场 生产成本 替换 消耗 | ||
【主权项】：
1.一种平面靶材，其特征在于，包括背板、设于所述背板上的靶材组和设于所述靶材组上的压条，所述靶材组通过所述压条可拆卸固定于所述背板上；所述靶材组包括多个成多列多行布置的子靶材，所述子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置。/n
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