[实用新型]一种扫描电子显微镜样品台有效
| 申请号： | 201920412225.6 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209859911U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 翟浩;王岩;罗帅;季海铭 | 申请（专利权）人： | 江苏华兴激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 42228 武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邓寅杰 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种扫描电子显微镜样品台，其不同之处在于：其包括呈凹型结构的样片放置台，所述样片放置台的两侧壁为竖直设置的侧部放置台柱，所述侧部放置台柱上表面为平面，样片放置台的内部中间位置设置有一个山峰状凸起结构的中部放置台柱，所述中部放置台柱的两侧边为斜面，中部放置台柱的顶部为平面结构；样品台固定结构，所述样品台固定结构设置于样片放置台下部，用于与扫描电子显微镜观测腔室观测台的连接固定。本实用新型利用各放置台面的度数偏差来实现多角度、特定角度的样品观测。 | ||
| 搜索关键词： | 台柱 放置台 样品台 本实用新型 固定结构 扫描电子显微镜观测 半导体技术领域 扫描电子显微镜 内部中间位置 山峰状凸起 度数 凹型结构 连接固定 平面结构 竖直设置 观测台 两侧壁 上表面 腔室 观测 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电子显微镜样品台，其特征在于：其包括/n呈凹型结构的样片放置台，所述样片放置台的两侧壁为竖直设置的侧部放置台柱，所述侧部放置台柱上表面为平面，样片放置台的内部中间位置设置有一个山峰状凸起结构的中部放置台柱，所述中部放置台柱的两侧边为斜面，中部放置台柱的顶部为平面结构；/n样品台固定结构，所述样品台固定结构设置于样片放置台下部，用于与扫描电子显微镜观测腔室观测台的连接固定。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏华兴激光科技有限公司，未经江苏华兴激光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920412225.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
