[实用新型]一种硅片不良品检测装置有效
| 申请号： | 201920412679.3 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209690194U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 郑森平;江水德 | 申请（专利权）人： | 衢州三盛电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 324000 浙江省衢*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片不良品检测装置，涉及硅片检测技术领域。包括第一传送带，第一传送带的两侧均设置有第一工作架，第一工作架的外壁处通过连接杆焊接有第一左右检测摄像机，第一工作架的顶部固定连接有稳固架，稳固架下表面的一侧固定连接有顶部检测摄像机，稳固架下表面的另一侧固定连接有第一深度检测摄像机，第一传送带的一侧从左到右依次设置有转向装置、第二传送带和斜向检测装置，转向装置包括转盘。该硅片不良品检测装置，通过设置第一传送带、第一左右检测摄像机和顶部检测摄像机，利用第一传送带有效的将多个待检测硅片输送至顶部检测摄像机的工作区，利用顶部检测摄像机对待检测硅片的上表面进行摄像检测。 | ||
| 搜索关键词： | 传送带 摄像机 检测 硅片 工作架 稳固架 不良品检测装置 转向装置 下表面 检测技术领域 本实用新型 硅片输送 检测装置 摄像检测 深度检测 依次设置 连接杆 上表面 外壁 斜向 转盘 焊接 | ||
【主权项】：
1.一种硅片不良品检测装置，包括第一传送带(1)，其特征在于：所述第一传送带(1)的两侧均设置有第一工作架(2)，所述第一工作架(2)的外壁处通过连接杆(3)焊接有第一左右检测摄像机(4)，所述第一工作架(2)的顶部固定连接有稳固架(5)，所述稳固架(5)下表面的一侧固定连接有顶部检测摄像机(6)，所述稳固架(5)下表面的另一侧固定连接有第一深度检测摄像机(7)，所述第一传送带(1)的一侧从左到右依次设置有转向装置(8)、第二传送带(9)和斜向检测装置(10)，所述转向装置(8)包括转盘(81)，所述转盘(81)上表面的一侧焊接有挡板(82)，所述转盘(81)的外壁处通过皮带(83)传动连接有转轴(84)，所述转轴(84)的底部固定连接有电机(85)，所述第二传送带(9)的两侧均设置有第二工作架(11)，所述第二工作架(11)的外壁处焊接有第二左右检测摄像机(12)，所述第二工作架(11)的顶部通过支撑杆(13)固定连接有第二深度检测摄像机(14)。/n
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