[实用新型]热板装置有效
| 申请号： | 201920414386.9 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN210112309U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 杨军;颜廷彪;黄志凯;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/20 | 分类号： | H05B3/20;G03F7/40;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种热板装置，包括：热板；用于加热热板的加热结构，加热结构包括设置于热板下方的基体及设置于基体内的加热芯体，加热芯体与电极相连接。通过采用加热芯体加热基体，再通过基体加热热板的间接方式加热热板，由于基体在加热芯体的加热下先受热均匀，相当于一个温度均匀的发热体，所以放置在基体上的热板可被均匀加热，从而提高热板的受热均匀性；采用陶瓷作为基体的材料，由于陶瓷材料结构致密且均匀，加热速率快且均匀，从而对热板的加热更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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