[实用新型]一种音叉式结构MEMS陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种音叉式结构MEMS陀螺仪，包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齿电极、第二梳齿电极、第三梳齿电极、第四梳齿电极、第五梳齿电极、第六梳齿电极、第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极以及第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点；该陀螺仪可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能；该结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。

主权项

1.一种音叉式结构MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括：第一框架(1a)、第二框架(1b)、第三框架(2a)、第四框架(2b)、第一梁(3a)、第二梁(3b)、第三梁(3c)、第四梁(3d)、第五梁(4a)、第六梁(4b)、第七梁(4c)、第八梁(4d)、第九梁(4e)、第十梁(4f)、第十一梁(4g)、第十二梁(4h)、第十三梁(5a)、第十四梁(5b)、第一梳齿电极(6a)、第二梳齿电极(6b)、第三梳齿电极(6c)、第四梳齿电极(7a)、第五梳齿电极(7b)、第六梳齿电极(7c)、第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)、第十一梳齿电极(9a)、第十二梳齿电极(9b)、第十三梳齿电极(9c)、第十四梳齿电极(9d)以及第一锚点(10a)、第二锚点(10b)、第三锚点(10c)、第四锚点(10d)；第一梁(3a)和第三梁(3c)的一端均与第一框架(1a)的左侧面连接，第一梁(3a)的另一端和第三梁(3c)的另一端分别与第一锚点(10a)和第三锚点(10c)连接；第二梁(3b)和第四梁(3d)一端均与第二框架(1b)的右侧面连接，第二梁(3b)的另一端和第四梁(3d)一端的另一端分别与第二锚点(10b)和第四锚点(10d)连接；第五梁(4a)、第六梁(4b)、第七梁(4c)、第八梁(4d),将第一框架(1a)与第三框架(2a)连接,第三框架(2a)位于第一框架(1a)内；第九梁(4e)、第十梁(4f)、第十一梁(4g)、第十二梁(4h)将第二框架(1b)与第四框架(2b)连接，第四框架(2b)位于第二框架(1b)内；第十三梁(5a)的两端分别与第一框架(1a)的右侧和第二框架(1b)的左侧连接，第十四梁(5b)的两端分别与第一框架(1a)的右侧和第二框架(1b)的左侧连接；第一框架(1a)与第二框架(1b)、第三框架(2a)与第四框架(2b)关于Y轴对称；第一梳齿电极(6a)和第四梳齿电极(7a)均与第一框架(1a)的左侧面连接；第二梳齿电极(6b)和第五梳齿电极(7b)均与第二框架(1b)的右侧面连接；第二梳齿电极(6b)与第一梳齿电极(6a)关于Y轴对称，第五梳齿电极(7b)与第四梳齿电极(7a)关于Y轴对称；第三梳齿电极(6c)的两侧分别与第一框架(1a)的右侧面和第二框架(1b)的左侧面连接，第六梳齿电极(7c)的两侧分别与第一框架(1a)的右侧面和第二框架(1b)的左侧面连接；第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第十一梳齿电极(9a)、第十二梳齿电极(9b)位于第三框架(2a)内，第七梳齿电极(8a)的两侧、第八梳齿电极(8b)的两侧、第十一梳齿电极(9a)的两侧、第十二梳齿电极(9b)的两侧分别与第三框架(2a)的左右内壁连接；第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)、第十三梳齿电极(9c)、第十四梳齿电极(9d)位于第四框架(2b)内，第九梳齿电极(8c)的左右两侧、第十梳齿电极(8d)的左右两侧、第十三梳齿电极(9c)的左右两侧、第十四梳齿电极(9d)的左右两侧分别与第四框架(2b)的左右内壁连接；第七梳齿电极(8a)与第八梳齿电极(8b)、第十一梳齿电极(9a)与第十二梳齿电极(9b)、第九梳齿电极(8c)与第十梳齿电极(8d)、第十三梳齿电极(9c)与第十四梳齿电极(9d)均关于X轴对称。