[实用新型]石墨盘加热用石英架有效
| 申请号： | 201920466247.0 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN209778992U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 张彩根 | 申请（专利权）人： | 湖州东科电子石英有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C23C16/44 |
| 代理公司： | 33234 杭州新源专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘晓阳 |
| 地址： | 313009 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨盘加热用石英架，包括水平放置的石英大管，石英大管内壁的下侧弧面上紧贴有弯板，弯板上对称设有两根第一石英棒，弯板上方经第一石英棒卡设有石英架主体。本实用新型具有可以用于多扇大尺寸石墨盘的加热、在高温净化炉内进出拆卸便捷、石墨盘清洁效果好、使用寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 弯板 本实用新型 石墨盘 石英棒 大管 加热 大尺寸石墨 高温净化炉 清洁效果 使用寿命 架主体 内壁 拆卸 紧贴 对称 | ||
【主权项】：
1.石墨盘加热用石英架，其特征在于：包括水平放置的石英大管(1)，石英大管(1)内壁的下侧弧面上紧贴有弯板(2)，弯板(2)上对称设有两根第一石英棒(3)，弯板(2)上方经第一石英棒(3)卡设有石英架主体(4)。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
