[实用新型]一种用于研磨抛光设备的供液装置有效
| 申请号： | 201920524112.5 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209919660U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 陈帅;曲迪;白国人;王磊;陈墨;李淼 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 12101 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蒙建军 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于研磨抛光设备的供液装置，涉及半导体制备技术领域，用于向研磨抛光设备提供连续或离散的液体溶剂，包括存储液体溶剂的料筒；其特征在于：所述料筒为圆柱桶装结构；在所述料筒的中心轴处设置有转轴；在上述转轴上安装有对液体溶剂进行搅拌用的扇叶；所述用于研磨抛光设备的供液装置还包括：带动上述转轴动作的动力机构；控制供料速率的蠕动泵；其中：在上述料筒的底部或者侧边开设有连接通孔；所述蠕动泵的第一端口通过引流管与料筒内腔连通；所述蠕动泵的第二端口连接有向研磨抛光设备提供连续或离散液体溶剂的喷液头。通过采用上述技术方案，本实用新型既能够保证液体溶剂的浓度均匀性，同时能够实现对流速的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨抛光设备 液体溶剂 料筒 蠕动泵 转轴 本实用新型 供液装置 半导体制备 浓度均匀性 存储液体 动力机构 端口连接 连接通孔 料筒内腔 中心轴处 喷液头 引流管 圆柱桶 溶剂 侧边 供料 扇叶 有向 连通 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于研磨抛光设备的供液装置，用于向研磨抛光设备提供连续或离散的液体溶剂，包括存储液体溶剂的料筒；其特征在于：所述料筒为圆柱桶装结构；/n在所述料筒的中心轴处设置有转轴；在上述转轴上安装有对液体溶剂进行搅拌用的扇叶；/n所述用于研磨抛光设备的供液装置还包括：/n带动上述转轴动作的动力机构；/n控制供料速率的蠕动泵；其中：/n在上述料筒的底部或者侧边开设有连接通孔；所述蠕动泵的第一端口通过引流管与料筒内腔连通；所述蠕动泵的第二端口连接有向研磨抛光设备提供连续或离散液体溶剂的喷液头。/n
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