[实用新型]一种曝光机基板载台及曝光机有效
| 申请号： | 201920529313.4 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN209471339U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 汪杰 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 215333 江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种曝光机基板载台及采用该基板载台的曝光机，该基板载台包括载台本体，所述载台本体的上表面设置有支撑纹，所述支撑纹包括直线型支撑纹和多个柱状支撑纹；多个所述柱状支撑纹设置在所述直线型支撑纹的周围。本实用新型通过将波浪形的支撑纹改成直线型的支撑纹，其与柱状支撑纹结合使用，既确保了分区域吸附的功能，又使得小厚度玻璃基板的拉姆现象得以改善，进而有效改善了小厚度玻璃基板的拉姆现象对产品良率的影响所造成的损失，大大降低了玻璃基板的制造成本，提高了市场竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑纹 基板载台 曝光机 柱状支撑 直线型 本实用新型 厚度玻璃 基板 市场竞争力 玻璃基板 产品良率 载台本体 制造成本 波浪形 分区域 上表面 台本体 吸附 | ||
【主权项】：
1.一种曝光机基板载台，其特征在于，包括载台本体，所述载台本体的上表面设置有支撑纹，所述支撑纹包括直线型支撑纹和多个柱状支撑纹；多个所述柱状支撑纹设置在所述直线型支撑纹的周围。
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