[实用新型]一种石英晶体掩膜电极工装夹具有效
| 申请号： | 201920535542.7 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN209982453U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 张斌 | 申请（专利权）人： | 浙江蓝晶芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321100 浙江省金华市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英晶体掩膜电极工装夹具，包括下掩膜板，所述下掩膜板的顶部外壁靠接有上掩膜板，且下掩膜板的顶部外壁开设有等距离分布的放置槽，所述上掩膜板底部外壁与放置槽对应的位置开设有卡槽，且卡槽与放置槽相匹配，所述放置槽和卡槽的两侧内壁均开设有滑槽，且滑槽的一侧内壁焊接有水平放置的第一弹簧，所述第一弹簧的一端外壁通过螺栓安装有压板。下掩膜板和上掩膜板均设置成圆盘状结构，下掩膜板和上掩膜板之间的外围利用限位环和环状的限位槽连接，从而增加下掩膜板和上掩膜板之间的密封性，避免镀膜电极用的浆液从下掩膜板和上掩膜板之间的空隙进入，防止影响晶体片镀膜电极的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 放置槽 卡槽 顶部外壁 镀膜电极 弹簧 滑槽 夹具 本实用新型 等距离分布 圆盘状结构 底部外壁 电极工装 两侧内壁 螺栓安装 内壁焊接 石英晶体 影响晶体 密封性 限位槽 限位环 靠接 外壁 压板 掩膜 匹配 外围 | ||
【主权项】：
1.一种石英晶体掩膜电极工装夹具，包括下掩膜板(1)，其特征在于，所述下掩膜板(1)的顶部外壁靠接有上掩膜板(2)，且下掩膜板(1)的顶部外壁开设有等距离分布的放置槽(3)，所述上掩膜板(2)底部外壁与放置槽(3)对应的位置开设有卡槽(4)，且卡槽(4)与放置槽(3)相匹配，所述放置槽(3)和卡槽(4)的两侧内壁均开设有滑槽(5)，且滑槽(5)的一侧内壁焊接有水平放置的第一弹簧(6)，所述第一弹簧(6)的一端外壁通过螺栓安装有压板(7)，且压板(7)的两端外壁分别与放置槽(3)的两端内壁滑动连接，所述上掩膜板(2)的底部外壁焊接有四个环形阵列分布的固定块(8)，且下掩膜板(1)顶部外壁与固定块(8)对应的位置开设有连接孔(9)，所述连接孔(9)的圆周内壁螺纹连接有固定筒(10)，且固定筒(10)的圆周内壁与固定块(8)的圆周外壁螺纹连接。/n
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