[实用新型]一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置有效
| 申请号： | 201920537661.6 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN210089430U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 胡建荣;高宇;倪军夫;董熔成;石明智;陈吉;傅林坚;曹建伟;李欢 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00;F27D7/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种压力装置，尤其涉及一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置。包括碳化硅炉腔体，碳化硅炉腔体设有腔体进气口与腔体出气口；腔体出气口与主真空管路一端相连；主真空管路另一端与真空泵相连；主真空管路上设有真空阀与旁路支路；旁路支路为若干并联的控压支路，各个控压支路上均设有真空阀；控压支路直径小于主真空管路，且各个控压支路的直径各不相等。本实用新型由于该装置存在几路不同大小的管径，使得通气量具有可调性，因此可根据实际的使用经验改进管径大小及数量，因此配合真空泵变频使得腔体内部压力在惰性气体的充入和抽吸过程中容易达到平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 炉炉腔 压力 控制 装置 | ||
【主权项】：
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