[实用新型]电容器、DRAM单元和存储器有效
申请号: | 201920548020.0 | 申请日: | 2019-04-22 |
公开(公告)号: | CN209785930U | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01L21/027 |
代理公司: | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 孙佳胤;董琳 |
地址: | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种电容器、DRAM单元和存储器,所述电容器包括:衬底,所述衬底内形成有电接触部;连接所述电接触部的下电极层,所述下电极层包括至少两个间隔排布的子电极层,所述子电极层的底部连接所述电接触部;位于所述下电极层内外表面的电容介质层,以及位于所述电容介质层表面的上电极层。上述电容器具有较高的单位面积电容值。 | ||
搜索关键词: | 电容器 电接触部 下电极层 电容介质层 子电极层 衬底 单位面积电容 本实用新型 存储器 底部连接 间隔排布 内外表面 电极层 | ||
【主权项】:
1.一种电容器,其特征在于,包括:/n衬底,所述衬底内形成有电接触部;/n连接所述电接触部的下电极层,所述下电极层包括至少两个间隔排布的子电极层,所述子电极层的底部连接所述电接触部;/n位于所述下电极层内外表面的电容介质层,以及位于所述电容介质层表面的上电极层。/n
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