[实用新型]液体处理装置

摘要

一种液体处理装置，其包含：液体处理部，其具有多个，对被处理体供给处理液并对被处理体进行液体处理；共通排气通路，其与多个液体处理部分别连接，将多个液体处理部内的环境气体排出；个别排气通路，其将各个液体处理部与共通排气通路连接；开闭机构，其以可自由开闭的方式设置在个别排气通路上；外部气体吸入部，其将外部气体吸入共通排气通路；吸入量调整阀，其设置于共通排气通路，调整从外部气体吸入部吸入的外部气体的流量；以及控制部，其以随着通过开闭机构与共通排气通路连通的液体处理部的个数的减少，使吸入量调整阀的开度变大的方式，控制吸入量调整阀的开度。

主权项

1.一种液体处理装置，其特征在于，包含：/n液体处理部，其具有多个，对被处理体供给处理液并对所述被处理体进行液体处理；/n共通排气通路，其与多个所述液体处理部分别连接，将多个所述液体处理部内的环境气体排出；/n个别排气通路，其将各个所述液体处理部与所述共通排气通路连接；/n开闭机构，其以可自由开闭的方式设置在所述个别排气通路上；/n外部气体吸入部，其将外部气体吸入所述共通排气通路；/n吸入量调整阀，其设置于所述共通排气通路，调整从所述外部气体吸入部吸入的外部气体的流量；以及/n控制部，其以随着通过所述开闭机构与所述共通排气通路连通的所述液体处理部的个数的减少，使所述吸入量调整阀的开度变大的方式，控制所述吸入量调整阀的开度。/n