[实用新型]晶舟夹取机构的位移驱动装置有效

专利信息
申请号: 201920590662.7 申请日: 2019-04-26
公开(公告)号: CN209922397U 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 王静强;黄锡钦;徐福兴 申请(专利权)人: 昆山基侑电子科技有限公司
主分类号: B65G47/90 分类号: B65G47/90
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 为了解决动晶舟夹取机构位移精度低的技术问题,本实用新型提供了一种包括平移驱动机构、升降驱动机构、连接杆和一对拨杆开关的晶舟夹取机构的位移驱动装置,平移驱动机构由伺服电机一、齿条、齿轮和两条直线滑轨一构成;升降驱动机构由基座、伺服电机二、滚珠丝杆副和两条直线滑轨二构成;一对拨杆开关安装在晶舟夹取机构的一对夹持臂上,拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。伺服电机、齿轮齿条、滚珠丝杆副的组合驱动晶舟夹取机构升降和平移,配合直线导轨导向,提高晶舟夹取机构的位移精度;同时,两个拨杆开关探测晶舟的位置,PLC根据两个拨杆开关的打开情况及时修正晶舟夹取机构的位置。
搜索关键词: 晶舟 夹取机构 拨杆开关 伺服电机 平移驱动机构 升降驱动机构 滚珠丝杆 直线滑轨 夹持臂 位移驱动装置 直线导轨导向 本实用新型 齿轮齿条 向下延伸 组合驱动 连接杆 齿轮 拨杆 齿条 升降 探测 修正 配合
【主权项】:
1.晶舟夹取机构的位移驱动装置,其特征在于,包括平移驱动机构、升降驱动机构、连接杆(30)和一对拨杆开关(40);/n所述平移驱动机构由固定座(11)、伺服电机一(12)、齿条(13)、齿轮和两条直线滑轨一(14)构成,两条所述直线滑轨一(14)和齿条(13)平行固定于所述固定座(11)上,所述齿条(13)位于两条直线滑轨一(14)之间,所述固定座(11)固定在所述直线滑轨一的滑块上,所述伺服电机一(12)固定于固定座(11)中,所述齿轮与所述齿条(13)啮合且固定于所述伺服电机一的输出轴上;/n所述升降驱动机构由基座(21)、伺服电机二(22)、滚珠丝杆副(23)和两条直线滑轨二(24)构成,两条直线滑轨二(24)平行且竖直地固定于所述固定座(11)中,所述基座(21)固定在所述滚珠丝杆副(23)的轴套上,所述伺服电机二(22)固定于固定座(11)中,所述伺服电机二(22)作为动力源滚珠丝杆副(23)带动轴套和基座(21)升降运动;/n所述连接杆的底部安装在所述基座(21)上,晶舟夹取机构安装在所述连接杆的顶部;一对拨杆开关安装在晶舟夹取机构的一对夹持臂上,所述拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。/n
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