[实用新型]在半导体处理中用于板状衬底的可适应于衬底的不同尺寸的样品固持器

摘要

本实用新型涉及一种在半导体处理中用于板状衬底的样品固持器，所述样品固持器适应于所述衬底的不同尺寸。所述样品固持器包括：矩形框架，所述矩形框架具有彼此成角度布置的两个止动器和固持框架元件；以及第一固持系统和第二固持系统。所述第一固持系统包括第一导引件和布置在所述第一导引件上的第一固持元件。所述第二固持系统包括第二导引件和布置在所述第二导引件上的第二固持元件。所述固持框架元件以及所述第一固持元件和所述第二固持元件适于将所述衬底固持在衬底平面中。所述第一固持系统和所述第二固持系统彼此独立地可移动和可固定，且所述第一导引件和所述第二导引件分别布置在彼此平行地并与所述衬底平面平行地定向的两个平面中。

主权项

1.一种在半导体处理中用于板状衬底(200)的样品固持器(100、101)，其中所述样品固持器(100、101)适应于所述衬底(200)的不同尺寸并包括：矩形框架(10)，所述矩形框架(10)具有彼此成角度布置的两个止动器(20a、20b)和用于固持所述衬底(200)的一个边的至少一部分的固持框架元件(16)，第一固持系统(30)，所述第一固持系统(30)包括第一导引件(31)和布置在所述第一导引件(31)上的至少一个第一固持元件(32)，其中所述第一导引件(31)沿着第一方向延伸，以沿着第二方向相对于所述框架(10)可移动的方式附接到所述框架(10)，并适于由第一固定装置(33a、33b)固定在所述框架(10)上的对应于所述衬底(200)的位置处，其中所述第二方向与所述第一方向正交地延伸，以及第二固持系统(40)，所述第二固持系统(40)包括第二导引件(41)和布置在所述第二导引件(41)上的至少一个第二固持元件(42)，其中所述第二导引件(41)沿着所述第二方向延伸，以沿着所述第一方向相对于所述框架(10)可移动的方式附接到所述框架(10)，并适于由第二固定装置(43a、43b)固定在所述框架(10)上的对应于所述衬底(200)的位置处，其中所述固持框架元件(16)以及所述至少一个第一固持元件(32)和所述至少一个第二固持元件(42)适于将所述衬底(200)固持在衬底平面中，且所述第一固持系统(30)和所述第二固持系统(40)彼此独立地可移动和可固定，且所述第一导引件(31)和所述第二导引件(41)分别布置在彼此平行地并与所述衬底平面平行地定向的两个平面中。