[实用新型]一种PVD镀膜装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种PVD镀膜装置，它包括镀膜仓，本实用新型通过调节排气硬管的位置，可调节样板和喷头间的距离，以适应不同材质的膜料和样板，从而降低膜料和耗材的消耗，降低生产成本；通过抽真空后对样板进行预热，能够使样板的表面吸附的气体脱附，再二次抽真空，从而提高镀膜室真空度、膜层纯度和膜基结合力；通过设置有电磁阀，能够在镀膜完成后快速切断蒸汽，防止镀膜增厚；通过在镀膜仓的内壁及内部元件的外壁上涂覆有一层耐高温防粘涂层，能够防止油污和残余镀料等粘附，难以清洁；通过设置有真空计能够对镀膜仓内的真空度进行监测。