[实用新型]推片装置

摘要

该实用新型涉及一种推片装置具有锁定单元，对推片单元起到锁定作用。在晶圆盒未放置到凸块时，推片单元被锁定单元的限位件锁定，无法移动以推动晶圆盒内放置的晶圆，不会造成碎片。进一步的，锁定单元设置有两个凸块，只有当两个晶圆盒同时放置到对应的位置，与两个凸块相接触时，推片单元才可以完全脱离锁定单元对它的锁定，顺利的将一个晶圆盒内放置的晶圆推出至另一个晶圆盒，从而防止在将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒内时发生晶圆的破损，提高晶圆加工的良率。

主权项

1.一种推片装置，其特征在于，包括：/n晶圆盒放置板，用于放置待进行推片的晶圆盒；/n推片单元，安装于所述晶圆盒放置板，能够相对于晶圆盒发生水平方向的运动，包括推杆，所述推杆垂直于水平面，并位于所述晶圆盒放置板上方，能够伸入晶圆盒，以推动晶圆盒内放置的晶圆，还包括锁块，位于所述晶圆盒放置板下方；/n锁定单元，设置于所述晶圆盒放置板，包括：/n凸块，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面；/n限位件，连接至所述凸块，穿过所述晶圆盒放置板，并突出于所述晶圆盒放置板的下表面，与所述锁块相接触，对所述锁块进行限位，从而限位所述推片单元的水平位置；/n所述凸块上方放置有晶圆盒时，所述限位件相对于所述晶圆盒放置板提起，所述锁块脱离限位。/n