[实用新型]一种用于碳化硅外延的气体分流装置有效
| 申请号： | 201920617251.2 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN209941142U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 沈文杰;傅林坚;周建灿;邵鹏飞;汤承伟;周航;潘礼钱 | 申请（专利权）人： | 杭州弘晟智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B29/36 |
| 代理公司： | 33212 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型主要应用于半导件外延生长设备，具体涉及一种用于碳化硅外延的气体分流装置。包括分流腔室；分流腔室前端设有分流板与分流罩，分流腔室分流板上设有若干横向的通孔；分流罩内部中空并设有两个横向的隔板，将罩体按1：3：1体积比隔开；分流腔室内在相应位置也设有两块隔板，将分流腔室分为三部分，各个部分后端各设有一根金属波纹卡套管；分流腔室外部设有锁紧装置。本实用新型结构简单，设计合理，实现难度不大，维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 分流腔 隔板 本实用新型 分流板 分流罩 气体分流装置 外延生长设备 碳化硅外延 金属波纹 内部中空 锁紧装置 维护方便 卡套管 室外部 体积比 导件 隔开 通孔 罩体 室内 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于碳化硅外延的气体分流装置，包括分流腔室；其特征在于，/n所述分流腔室前端依次设有分流板与分流罩，所述分流板上设有若干横向的通孔；分流罩内部中空并设有两个横向的隔板，将罩体按1：3：1体积比隔开；分流腔室内在相应位置也设有两块隔板，将分流腔室分为三部分，各个部分后端各设有一根金属波纹卡套管；分流腔室外部设有锁紧装置。/n
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