[实用新型]一种旋转式真空镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201920628453.7 申请日: 2019-05-05
公开(公告)号: CN209974880U 公开(公告)日: 2020-01-21
发明(设计)人: 陈开龙 申请(专利权)人: 深圳市沃克力技术有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/22;C23C16/458;C23C16/44;C23C14/56;C23C16/54
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518111 广东省深圳市龙岗*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种旋转式真空镀膜装置,包括真空壳体,所述真空壳体为中空结构,所述真空壳体的上端与外部连通的通孔,且真空壳体的上端设有与通孔匹配设置的封盖,所述封盖的下侧侧壁固定连接有镀板固定装置,所述真空壳体的两侧均设有抽真空装置,所述真空壳体的底壁上设有镀料气化装置,且镀料气化装置位于镀板固定装置的正下方。本实用新型能够在一定范围内对不同大小厚度的镀板进行镀膜,适用性强,便于对镀板进行真空镀膜。
搜索关键词: 真空壳体 镀板 本实用新型 固定装置 气化装置 上端 镀料 封盖 通孔 真空镀膜装置 抽真空装置 匹配设置 外部连通 真空镀膜 中空结构 旋转式 侧壁 底壁 镀膜
【主权项】:
1.一种旋转式真空镀膜装置,包括真空壳体(1),其特征在于,所述真空壳体(1)为中空结构,所述真空壳体(1)的上端与外部连通的通孔,且真空壳体(1)的上端设有与通孔匹配设置的封盖(2),所述封盖(2)的下侧侧壁固定连接有镀板固定装置,所述真空壳体(1)的两侧均设有抽真空装置,所述真空壳体(1)的底壁上设有镀料气化装置,且镀料气化装置位于镀板固定装置的正下方。/n
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