[实用新型]一种旋转式真空镀膜装置有效
申请号: | 201920628453.7 | 申请日: | 2019-05-05 |
公开(公告)号: | CN209974880U | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 陈开龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市沃克力技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/22;C23C16/458;C23C16/44;C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518111 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种旋转式真空镀膜装置,包括真空壳体,所述真空壳体为中空结构,所述真空壳体的上端与外部连通的通孔,且真空壳体的上端设有与通孔匹配设置的封盖,所述封盖的下侧侧壁固定连接有镀板固定装置,所述真空壳体的两侧均设有抽真空装置,所述真空壳体的底壁上设有镀料气化装置,且镀料气化装置位于镀板固定装置的正下方。本实用新型能够在一定范围内对不同大小厚度的镀板进行镀膜,适用性强,便于对镀板进行真空镀膜。 | ||
搜索关键词: | 真空壳体 镀板 本实用新型 固定装置 气化装置 上端 镀料 封盖 通孔 真空镀膜装置 抽真空装置 匹配设置 外部连通 真空镀膜 中空结构 旋转式 侧壁 底壁 镀膜 | ||
【主权项】:
1.一种旋转式真空镀膜装置,包括真空壳体(1),其特征在于,所述真空壳体(1)为中空结构,所述真空壳体(1)的上端与外部连通的通孔,且真空壳体(1)的上端设有与通孔匹配设置的封盖(2),所述封盖(2)的下侧侧壁固定连接有镀板固定装置,所述真空壳体(1)的两侧均设有抽真空装置,所述真空壳体(1)的底壁上设有镀料气化装置,且镀料气化装置位于镀板固定装置的正下方。/n
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