[实用新型]一种边缘光刻胶去除装置及光刻胶涂布装置有效
| 申请号： | 201920665312.2 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN210109551U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 薛征;叶日铨;黄志凯;李俊杰 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种边缘光刻胶去除装置及光刻胶涂布装置，该边缘光刻胶去除装置包括溶剂输送管道、溶剂喷嘴及溶剂遮挡板，其中，溶剂喷嘴连接于溶剂输送管道一端，用于向晶圆背面边缘喷洒溶剂，溶剂遮挡板连接于溶剂输送管道，从晶圆背面绕到晶圆上方，并从晶圆上方往晶圆正面的边缘延伸，但不与晶圆表面接触。本实用新型的边缘光刻胶去除装置及光刻胶涂布装置采用了溶剂遮挡板，当溶剂喷嘴所喷溶剂到达晶圆上方并下落的时候，溶剂可以顺着溶剂遮挡板的边缘流下来，大大降低了晶圆正面光刻胶被污染的可能性，从而避免晶圆表面的缺陷密度增加。此外，溶剂遮挡板还能够在晶圆旋转涂胶时减少光刻胶溢出至晶圆边缘与背面的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 光刻 去除 装置 胶涂布 | ||
【主权项】：
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