[实用新型]一种平面靶材的校平设备有效
| 申请号： | 201920685496.9 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN210085566U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 文锋 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平面靶材的校平设备，校平设备设置有纵向移动机构和拱度检测装置，纵向移动机构，用作带动抵压杆沿平面靶材的长度方向往复移动，纵向移动机构包括有移动底座和底座驱动机构，移动底座移动安装于加热平台的一侧，移动底座的移动轨迹的纵向长度不小于平面靶材的长度，底座驱动机构设置为手动驱动结构或电机驱动结构，底座驱动机构驱动连接移动底座，施压机构固接于移动底座，抵压杆始终竖直对齐平面靶材；拱度检测装置，用作测量平面靶材的拱度，拱度检测装置固定安装于移动底座或施压机构。与现有技术相比，该校平装置能够对平面靶材进行高精度的热压校平，不会损坏靶材，校平时间短，校平效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 设备 | ||
【主权项】：
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