[实用新型]一种基于磁性开关控制的门阀装置有效
| 申请号： | 201920692771.X | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN209892772U | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 吴斌;罗志明;李勇河;袁冲;梅小艳 | 申请（专利权）人： | 泸州金能移动能源科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/30;F16K31/122;F16K31/06;F16K37/00 |
| 代理公司： | 51223 成都华风专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐丰;张巨箭 |
| 地址： | 646000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于磁性开关控制的门阀装置，所述门阀装置安装在两个工艺腔室之间，用于两个工艺腔室之间的高真空隔离，所述门阀装置包括阀壳、驱动气缸、连接杆、传输通道、磁性开关和阀板；所述阀壳的一侧开设有供芯片传输的传输通道，所述传输通道的两侧分别连接所述门阀两侧的工艺腔室；所述阀壳内部设置有用于隔档所述传输通道的阀板；所述驱动气缸通过所述连接杆连接到所述阀板上通过所述驱动气缸推动所述阀板到所述传输通道处，实现两个工艺腔室的高真空隔离；所述驱动气缸上设置有所述磁性开关。通过在两个驱动气缸上加装磁性开关传感装置，使应用在CIGS共蒸发镀膜沉积设备上的矩形门阀输出的开到位和关到位信号更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 传输通道 驱动气缸 工艺腔室 阀板 磁性开关 门阀装置 阀壳 高真空 门阀 隔离 磁性开关控制 本实用新型 关到位信号 连接杆连接 传感装置 镀膜沉积 内部设置 芯片传输 共蒸发 连接杆 隔档 加装 输出 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于磁性开关控制的门阀装置，所述门阀装置安装在两个工艺腔室之间，用于两个工艺腔室之间的高真空隔离，其特征在于：所述门阀装置包括阀壳（1）、驱动气缸（2）、连接杆（3）、传输通道（6）、磁性开关（7）和阀板（8）；/n所述阀壳（1）的一侧开设有供芯片传输的传输通道（6），所述传输通道（6）的两侧分别连接所述门阀两侧的工艺腔室；所述阀壳（1）内部设置有用于隔档所述传输通道（6）的阀板（8）；所述驱动气缸（2）通过所述连接杆（3）连接到所述阀板（8）上通过所述驱动气缸（2）推动所述阀板（8）到所述传输通道（6）处，实现两个工艺腔室的高真空隔离；所述驱动气缸（2）上设置有所述磁性开关（7）。/n
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