[实用新型]一种应用于半导体废气处理设备的结构有效
| 申请号： | 201920702326.7 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN210473530U | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 章文军;杨春水;宁腾飞;陈彦岗;杨春涛;王继飞;张坤;闫萧;蔡传涛;席涛涛;王磊 | 申请（专利权）人： | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32;B01D53/14;F23G7/06 |
| 代理公司： | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 | 代理人： | 郑直 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的结构，涉及半导体行业废气处理技术领域，包括机柜，所述机柜内安装有废气处理系统，所述废气处理系统包括气动三通阀，通过设置等离子体火炬、反应腔、循环水箱和水洗塔，实现废气的处理，通过设置溢流部一和溢流部二，从而降低经反应腔反应后的气体温度，对有污垢的水洗塔塔壁进行水洗，通过在上层水洗塔上设置新风组合件，使得对上层水洗塔进行通风，减少出口水气过多，本实用新型为半导体废气处理提供了一种选择，增加解决半导体废气处理的方案，处理废气安全可靠，范围广效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 半导体 废气 处理 设备 结构 | ||
【主权项】：
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