[实用新型]一种TMA介质的蒸发系统

摘要

本实用新型公开了一种TMA介质的蒸发系统，包括TMA蒸发瓶和控制输送管路，所述TMA蒸发瓶设置有一蒸发瓶入口和一蒸发瓶出口，在蒸发瓶入口和出口均设置有气动阀；所述控制输送管路包括第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道；所述的第二TMA液体管道连接着蒸发瓶入口；所述的TMA气体管道设置有两个端口，一端口连接着蒸发瓶出口，另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计、第七气动阀以及第三手动阀；所述的第二气体管道连接在第七气动阀与第三手动阀之间的管道上，第二气体管道上还连接有惰性气体质量流量计；本实用新型的有益效果是：通过增加独立的蒸发系统，改善生产工艺，达到了提高转换效率的目的。