[实用新型]光栅线密度测量装置有效
| 申请号： | 201920721956.9 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN209689889U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 李广伟;陈怀熹;张新彬;冯新凯;古克义;梁万国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 11540 北京元周律知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡璇<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 350002 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光栅线密度测量装置，该装置包括：激光器和挡光板，激光器出射激光光束透过挡光板上的通光孔入射待测光栅，调整待测光栅至通光孔的圆心为衍射光斑圆心时，待测光栅满足0级littrow条件或‑1级Littrow条件，待测光栅从满足0级littrow条件到满足‑1级Littrow条件所转过的角度即为衍射角α，光栅线密度m：m＝2*106*sinα/λ，其中，λ为激光光束的波长。该装置充分利用衍射光斑面积较大的特点，在不去除衍射光斑面积的情况下，简化测量装置结构，仅需增加挡光板即可消除衍射光斑面积对测量结果的影响，能够精确测量光栅的实际线密度。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 衍射光斑 挡光板 圆心 激光光束 激光器 通光孔 测量装置结构 线密度测量 衍射角 波长 出射 去除 入射 测量 申请 | ||
【主权项】：
1.一种光栅线密度测量装置，其特征在于，包括：激光器和挡光板，所述挡光板上延所述挡光板横向贯穿所述挡光板设置通光孔；/n所述激光器出射激光光束透过所述挡光板上的通光孔入射待测光栅；调整所述待测光栅至所述通光孔的圆心为衍射光斑圆心时，所述待测光栅满足0级littrow条件或-1级Littrow条件，测量所述待测光栅从满足0级littrow条件到满足-1级Littrow条件转过的角度。/n
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