[实用新型]一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器有效
申请号: | 201920727381.1 | 申请日: | 2019-05-21 |
公开(公告)号: | CN210215616U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 代晓波 | 申请(专利权)人: | 独山中科晶元信息材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/42 | 分类号: | C30B29/42;C30B11/00 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 谈杰 |
地址: | 558200 贵州省黔南布依*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器,包括箱体,所述箱体通过转轴安装有活动门,所述箱体的内底面安装有竖直的伸缩杆和固定竖板,所述伸缩杆的顶端固定连接有托盘,所述托盘的上表面放置有坩埚本体,下表面滑动连接有收集槽,所述固定竖板的顶端开设有螺纹孔,所述螺纹孔内部螺纹连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外端焊接有固定把手,内端通过轴承焊接有夹具,所述箱体的内侧壁和顶壁均通过安装座安装有加热管。综上所述,本实用新型的有益效果在于:利用砷化镓晶体与氧化硼的熔点差值,通过加热管对坩埚本体进行加热,使氧化硼熔化,从而使砷化镓晶体脱离坩埚本体;利用收集槽对熔化后的氧化硼进行回收,便于氧化硼的二次利用。 | ||
搜索关键词: | 一种 vgf 法砷化镓单晶用脱舟器 | ||
【主权项】:
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