[实用新型]一种榫卯式晶圆电镀治具有效
| 申请号： | 201920734368.9 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN210796669U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 何志刚;黄雷 | 申请（专利权）人： | 昆山成功环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/06 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄珩 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种榫卯式晶圆电镀治具，包括有治具本体和盖板，所述治具本体上设置有凹槽，所述凹槽的底部设置有弹性导电环，盖板与所述凹槽的外形、尺寸相适配，在盖板的周侧设置有用于所述盖板在所述治具本体固定的榫卯组件，所述榫卯组件包括有榫接件和铆钉，所述榫接件设置在所述治具本体上，所述铆钉穿射所述盖板与所述榫接件卡接。通过铆钉与榫接件的卡接即可使盖板固定于治具本体上，通过榫卯式的连接方式一方面便于将铆钉与固定于榫接件内，使盖板将晶圆压紧，另一方面便于使用者扛铆钉从榫接件内取出，方便盖板与治具本体的分离，减少在治具本体上安装和取下治具本体所需的工作量，大大节约放入和取出品圆时所需要的时间，从而提高晶圆的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 榫卯式晶圆 电镀 | ||
【主权项】：
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