[实用新型]一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置有效
| 申请号： | 201920746568.6 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN209957642U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 高运周;鹿云龙;李建均 | 申请（专利权）人： | 四川神光石英科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 51292 成都欣圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王海文 |
| 地址： | 621700 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，安装在沉积炉底部且打砣机顶部安装的石英支撑杆穿过该装置伸入到沉积炉内，用于维持砣料沉积面及附近温度不变，该装置包括支撑板，设置于所述沉积炉底部；风箱，设置与所述支撑板下部；以及进风机构，设置在所述风箱外侧与其内部导通；其中，所述支撑板和风箱与沉积炉内部贯通且贯通区域截面尺寸大于石英支撑杆的直径。本实用新型提供了一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，通过风箱和进气机构维持砣料沉积面及附近温度不变，使砣料直径均匀生长，避免产生周期结束后，砣料存在直径差异，同时减少下一工序中的损耗量，从而提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积炉 风箱 本实用新型 进风装置 石英玻璃 支撑板 支撑杆 石英 沉积 保温 支撑板下部 产生周期 顶部安装 贯通区域 进风机构 进气机构 直径差异 打砣机 损耗量 导通 伸入 贯通 穿过 生长 | ||
【主权项】：
1.一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，安装在沉积炉底部且打砣机顶部安装的石英支撑杆穿过该装置伸入到沉积炉内，用于维持砣料沉积面及附近温度不变，其特征在于：该装置包括/n支撑板，设置于所述沉积炉底部；/n风箱，设置与所述支撑板下部，用于砣料前期生长的部分热交换并阻隔沉积炉高温对打砣机的影响；以及/n进风机构，设置在所述风箱外侧并与其内部导通；/n其中，所述支撑板和风箱与沉积炉内部贯通且贯通区域截面尺寸大于石英支撑杆的直径。/n
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