[实用新型]一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统有效
| 申请号： | 201920760966.3 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN210110701U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 陶尚;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 长沙埃福思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/32 |
| 代理公司： | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213 | 代理人： | 杨斌 |
| 地址： | 410005 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带插板阀的紧凑型真空室结构，包括插板阀、主真空室和副真空室，所述插板阀设在主真空室和副真空室之间用于控制二者通断，所述主真空室和副真空室与插板阀相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔，所述通孔周围设有主真空室和/或副真空室的侧壁连接部，所述主真空室和/或副真空室与插板阀之间不设置连接法兰，所述主真空室和/或副真空室通过侧壁连接部直接与插板阀固接。本实用新型还公开了一种离子束加工系统，所述离子束加工系统采用了上述的带插板阀的紧凑型真空室结构。本实用新型的真空室结构和离子束加工系统具有连接距离较短、成本低、结构紧凑、外形简洁美观等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 插板 紧凑型 真空 结构 离子束 加工 系统 | ||
【主权项】：
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