[实用新型]晶圆承载环移载装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆承载环移载装置，其包括：机台及安装于所述机台上的水平滑移件、垂直滑移件、夹取臂及拍摄模块，机台内设有平台；水平滑移件安装在机台且位于平台上方，负责带动安装于所述机台的垂直滑移件进行水平移动；垂直滑移件负责带动安装于所述机台的夹取臂升降；夹取臂能夹持晶圆承载环；拍摄模块安装于机台侧壁，能拍摄晶圆承载环影像；藉此透过后续影像处理，来判定于晶圆承载环上切割后的晶粒是否有偏移或掉落情形，确实掌握晶粒的数量。

主权项

1.一种晶圆承载环移载装置，其特征在于包括：机台及安装于所述机台上的水平滑移件、垂直滑移件、夹取臂及拍摄模块，所述机台内设有平台；所述水平滑移件位于所述平台上方，负责带动安装于所述机台的该垂直滑移件进行水平移动；所述垂直滑移件负责带动安装于所述机台的所述夹取臂升降；所述夹取臂能夹持晶圆承载盘；所述拍摄模块安装于所述机台的侧壁，能拍摄该晶圆承载盘的影像。