[实用新型]一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置有效
| 申请号： | 201920766035.4 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN209571398U | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 徐峥 | 申请（专利权）人： | 南阳凯鑫光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 王志敏 |
| 地址： | 473001 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板，第二支撑板的底端侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的一侧侧壁固定有旋转电机，旋转电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离旋转电机的一端延伸至第一凹槽外部固定有第三支撑板，第三支撑板的两端均开设有第二凹槽，第二凹槽的一侧侧壁固定有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有第一连接板。本实用新型本实用新型能够对晶圆进行智能搬运，能够对不同大小的晶圆进行搬运，提高了实用性，而且能够根据不同距离进行调节下料搬运距离，提高了便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑板 晶圆 本实用新型 旋转电机 搬运 搬运装置 推杆电机 输出轴 侧壁 气缸 智能 转轴 联轴器固定 玻璃 底端侧壁 顶端侧壁 便捷性 活塞杆 连接板 外部 延伸 下料 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，包括第一支撑板，其特征在于，所述第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板，第二支撑板的底端侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的一侧侧壁固定有旋转电机，旋转电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离旋转电机的一端延伸至第一凹槽外部固定有第三支撑板，第三支撑板的两端均开设有第二凹槽，所述第二凹槽的一侧侧壁固定有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有第一连接板，第一连接板的底端侧壁固定有垂直设置的第二连接板，第二连接板的底端侧壁固定有真空吸盘，所述第二连接板的一侧侧壁固定有真空泵，且真空泵与真空吸盘连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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