[实用新型]旋转阴极排水装置有效
| 申请号： | 201920781850.8 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN210001923U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 崔振宇 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种旋转阴极排水装置。该排水装置包括进水轴和出水轴，进水轴和出水轴相互连接，进水轴内开设有进水通道，进水通道内用于容置旋转阴极和冷却水；出水轴内开设有出水通道，出水轴内还设置有开关结构，开关结构设置在进水通道和出水通道的对接处，开关结构能控制出水通道开启和关闭，以控制冷却水从出水通道排出。该排水装置通过设置出水轴，并在出水轴内设置出水通道和开关结构，能够方便地控制出水通道的开启和关闭，从而在更换靶材时方便地控制该排水装置排水，该排水装置排水时无需进行管路拆卸，操作简便，且该排水装置结构简单，易于操作，不仅提高了旋转阴极排水装置的排水效率，而且提高了靶材的更换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 出水通道 排水装置 出水轴 开关结构 进水通道 旋转阴极 进水轴 冷却水 靶材 内开 排水 排水装置结构 本实用新型 排水效率 对接处 排出 容置 拆卸 | ||
【主权项】：
1.一种旋转阴极排水装置，其特征在于，包括进水轴(1)和出水轴(2)，所述进水轴(1)和所述出水轴(2)相互连接，所述进水轴(1)内开设有进水通道(3)，所述进水通道(3)内用于容置所述旋转阴极和冷却水；所述出水轴(2)内开设有出水通道(4)，所述出水轴(2)内还设置有开关结构，所述开关结构设置在所述进水通道(3)和所述出水通道(4)的对接处，所述开关结构能控制所述出水通道(4)开启和关闭，以控制所述冷却水从所述出水通道(4)排出。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东泰高科装备科技有限公司，未经东泰高科装备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920781850.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：挂载装置和磁控溅射镀膜系统
- 下一篇：一种实时间接测量溅射靶材温度装置
- 同类专利
- 专利分类
