[实用新型]喷淋头装置及MOCVD设备有效

专利信息
申请号: 201920781858.4 申请日: 2019-05-28
公开(公告)号: CN210001931U 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 贾蕾;童翔 申请(专利权)人: 东泰高科装备科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 102200 北京市昌平*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供一种喷淋头装置及MOCVD设备,该喷淋头装置包括固定部件(1)和旋转部件(2),固定部件(1)和旋转部件(2)通过第一动密封结构(3)密封对接,形成一封闭空间(4),其中,在固定部件(1)中设置有进气口(5),该进气口(5)与封闭空间(4)连通;旋转部件(2)包括位于封闭空间(4)底部的喷淋板(21),该喷淋板(21)能够相对于固定部件(1)围绕自身轴线旋转,且在喷淋板(21)中设置有多个出气口(211),用于将封闭空间(4)中的气体喷出。本实用新型提供的喷淋头装置,可以提高混气均匀性,从而可以流场均匀性和气源利用率。
搜索关键词: 封闭空间 固定部件 喷淋头装置 旋转部件 喷淋板 进气口 本实用新型 动密封结构 流场均匀性 密封对接 源利用率 自身轴线 出气口 均匀性 混气 喷出 连通
【主权项】:
1.一种喷淋头装置,其特征在于,包括固定部件(1)和旋转部件(2),所述固定部件(1)和旋转部件(2)通过第一动密封结构(3)密封对接,形成一封闭空间(4),其中,/n在所述固定部件(1)中设置有进气口(5),所述进气口(5)与所述封闭空间(4)连通;/n所述旋转部件(2)包括位于所述封闭空间(4)底部的喷淋板(21),所述喷淋板(21)能够相对于所述固定部件(1)围绕自身轴线旋转,且在所述喷淋板(21)中设置有多个出气口(211),用于将所述封闭空间(4)中的气体喷出。/n
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