[实用新型]一种真空镀膜机的进气系统有效
申请号: | 201920799463.7 | 申请日: | 2019-05-30 |
公开(公告)号: | CN210065897U | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 张德军 | 申请(专利权)人: | 深圳市创基真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518015 广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种真空镀膜机的进气系统,其包括进气箱体,所述进气箱体顶部连接有进气管道,所述进气箱体内设有进气通道,所述进气通道与进气管道连通,所述进气通道底部沿其轴向开设有至少两个进气孔,所述进气孔与进气箱体底部连通。本实用新型具有进气均匀,镀膜效果更好,模具表面膜厚更均匀,平整的效果。 | ||
搜索关键词: | 进气箱体 进气通道 本实用新型 进气管道 进气孔 真空镀膜机 底部连通 镀膜效果 进气系统 模具表面 进气 膜厚 轴向 连通 平整 | ||
【主权项】:
1.一种真空镀膜机的进气系统,其特征在于:包括进气箱体(1),所述进气箱体(1)顶部连接有进气管道(5),所述进气箱体(1)内设有进气通道,所述进气通道与进气管道(5)连通,所述进气通道底部沿其轴向开设有至少两个进气孔,所述进气孔与进气箱体(1)底部连通。/n
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