[实用新型]真空镀膜机的冷却系统有效
| 申请号： | 201920805492.X | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN210065894U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 张德军 | 申请（专利权）人： | 深圳市创基真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518015 广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体、热交换管道组、出水温度检测装置、进水流量控制装置、控制器和出水管，热交换管道组设置有进水口和出水口，出水管与出水口相连通，进水流量控制装置与进水口相连通，出水温度检测装置用于检测从出水口中流出水的温度，进水流量控制装置用于控制进入进水口处的进水流量大小，出水温度检测装置将检测到的实时出水温度值传递给控制器，控制器内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。本实用新型具有能够根据不同的降温需要及时将真空镀膜机腔体的内部温度迅速降至所需温度的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 进水流量控制装置 出水 出水温度检测装置 真空镀膜机 控制器 进水口 本实用新型 热交换管道 进水流量 出水管 出水口 腔体 冷却系统 预设置 组设置 检测 流出 传递 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体(1)和热交换管道组，其特征在于：/n所述热交换管道组布设于真空镀膜机腔体(1)内侧壁上，所述冷却系统还包括：出水温度检测装置(3)、进水流量控制装置、控制器(5)和出水管(61)，所述热交换管道组设置有进水口(21)和出水口(22)，所述出水管(61)与所述出水口(22)相连通，所述进水流量控制装置与所述进水口(21)相连通，所述出水温度检测装置(3)固定连接在所述出水管(61)的内壁上，/n所述出水温度检测装置(3)用于检测从所述出水口(22)中流出水的温度，所述进水流量控制装置用于控制进入所述进水口(21)处的进水流量大小，所述出水温度检测装置(3)、所述进水流量控制装置均与所述控制器(5)电性连接，/n所述出水温度检测装置(3)将检测到的实时出水温度值传递给所述控制器(5)，所述控制器(5)内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制所述进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。/n
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