[实用新型]一种砷化镓单晶炉电气控制系统有效
| 申请号： | 201920807111.1 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN209765308U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 代晓波 | 申请（专利权）人： | 独山中科晶元信息材料有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 11212 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 558200 贵州省黔南布依*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种砷化镓单晶炉电气控制系统，包括中心控制部分、运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板，所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板分别与所述中心控制部分相连，所述温度控制部分包括多流道温度调节器和加热器；其中，所述多流道温度调节器内部含有输出压力不同的若干条水流通道。有益效果在于：通过采用多流道温度调节器，可通过控制水流通过不同的流道，控制水流的流速，从而对应不同的升温速度，控制操作简单；通过多流道温度控制器，可在需要不同升温速度时，开启对应的流道，可防止增压设备常开，更加节能。 | ||
| 搜索关键词： | 多流道 温度调节器 操作面板 气体控制 水路检测 运动控制 中心控制 流道 电气控制系统 加热器 本实用新型 砷化镓单晶 温度控制器 输出压力 水流通道 水流通过 增压设备 节能 | ||
【主权项】：
1.一种砷化镓单晶炉电气控制系统，包括中心控制部分、运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板(11)，所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板(11)分别与所述中心控制部分相连，其特征在于：所述温度控制部分包括多流道温度调节器(8)和加热器(9)；/n其中，所述多流道温度调节器(8)内部含有输出压力不同的若干条水流通道。/n
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