[实用新型]单晶炉有效

专利信息
申请号: 201920807266.5 申请日: 2019-05-31
公开(公告)号: CN210030953U 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 马腾飞;汪奇;王楠;马新成;邹昌盛;段永兵;王军;陈龑;豆欣研 申请(专利权)人: 新疆晶科能源有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 11348 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 孟阿妮;张小勇
地址: 835800 新疆维吾尔自*** 国省代码: 新疆;65
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种单晶炉,涉及单晶硅设备技术领域,主要目的是提供一种能够防止排气管阻塞的单晶炉。本实用新型的主要技术方案为:一种单晶炉,包括:炉体;排气部,排气部包括进气部件、排气管和活塞部件,排气管的一端连接于炉体,用于排出炉体内的杂质,活塞部件设置在排气管内,并且滑动连接于排气管,用于刮去排气管的内壁上的杂质,进气部件连接于排气管,用于吹扫排气管。本实用新型主要用于单晶炉排气。
搜索关键词: 排气管 单晶炉 本实用新型 活塞部件 进气部件 排气部 炉体 单晶硅设备 滑动连接 一端连接 出炉 吹扫 内壁 排气 阻塞 体内
【主权项】:
1.一种单晶炉,其特征在于,包括:/n炉体;/n排气部,所述排气部包括进气部件、排气管和活塞部件,所述排气管的一端连接于所述炉体,用于排出所述炉体内的杂质,所述活塞部件设置在所述排气管内,并且滑动连接于所述排气管,用于刮去所述排气管的内壁上的杂质,所述进气部件连接于所述排气管,用于吹扫所述排气管。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新疆晶科能源有限公司,未经新疆晶科能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920807266.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top