[实用新型]单晶炉有效
申请号: | 201920807266.5 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN210030953U | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 马腾飞;汪奇;王楠;马新成;邹昌盛;段永兵;王军;陈龑;豆欣研 | 申请(专利权)人: | 新疆晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 11348 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 孟阿妮;张小勇 |
地址: | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉,涉及单晶硅设备技术领域,主要目的是提供一种能够防止排气管阻塞的单晶炉。本实用新型的主要技术方案为:一种单晶炉,包括:炉体;排气部,排气部包括进气部件、排气管和活塞部件,排气管的一端连接于炉体,用于排出炉体内的杂质,活塞部件设置在排气管内,并且滑动连接于排气管,用于刮去排气管的内壁上的杂质,进气部件连接于排气管,用于吹扫排气管。本实用新型主要用于单晶炉排气。 | ||
搜索关键词: | 排气管 单晶炉 本实用新型 活塞部件 进气部件 排气部 炉体 单晶硅设备 滑动连接 一端连接 出炉 吹扫 内壁 排气 阻塞 体内 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉,其特征在于,包括:/n炉体;/n排气部,所述排气部包括进气部件、排气管和活塞部件,所述排气管的一端连接于所述炉体,用于排出所述炉体内的杂质,所述活塞部件设置在所述排气管内,并且滑动连接于所述排气管,用于刮去所述排气管的内壁上的杂质,所述进气部件连接于所述排气管,用于吹扫所述排气管。/n
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