[实用新型]单晶炉有效
| 申请号： | 201920807266.5 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN210030953U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 马腾飞;汪奇;王楠;马新成;邹昌盛;段永兵;王军;陈龑;豆欣研 | 申请（专利权）人： | 新疆晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11348 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址： | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉，涉及单晶硅设备技术领域，主要目的是提供一种能够防止排气管阻塞的单晶炉。本实用新型的主要技术方案为：一种单晶炉，包括：炉体；排气部，排气部包括进气部件、排气管和活塞部件，排气管的一端连接于炉体，用于排出炉体内的杂质，活塞部件设置在排气管内，并且滑动连接于排气管，用于刮去排气管的内壁上的杂质，进气部件连接于排气管，用于吹扫排气管。本实用新型主要用于单晶炉排气。 | ||
| 搜索关键词： | 排气管 单晶炉 本实用新型 活塞部件 进气部件 排气部 炉体 单晶硅设备 滑动连接 一端连接 出炉 吹扫 内壁 排气 阻塞 体内 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉，其特征在于，包括：/n炉体；/n排气部，所述排气部包括进气部件、排气管和活塞部件，所述排气管的一端连接于所述炉体，用于排出所述炉体内的杂质，所述活塞部件设置在所述排气管内，并且滑动连接于所述排气管，用于刮去所述排气管的内壁上的杂质，所述进气部件连接于所述排气管，用于吹扫所述排气管。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新疆晶科能源有限公司，未经新疆晶科能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920807266.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种单晶硅生产用导流装置
- 下一篇：加热器电极和单晶炉
