[实用新型]筒状进气装置及镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201920812515.X 申请日: 2019-05-28
公开(公告)号: CN210001932U 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 王志升 申请(专利权)人: 东泰高科装备科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;H01L31/18
代理公司: 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 102200 北京市昌平*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供的筒状进气装置及镀膜设备,包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32),在内筒体(31)中设置有至少一组出气组,其包括多个出气孔(311);还包括匀气结构,其设置在外筒体(32)的内周壁与内筒体(31)的外周壁之间,包括至少一条匀气通道,其数量与出气组的数量相同,且一一对应地设置;匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212),各个出气端(3212)和相应的出气组中的各个出气孔(311)连通;匀气通道被设置为进气端(3211)与各个出气端(3212)之间的通道距离一致;在外筒体(32)中还设置有用于向各个匀气通道输送气体的进气通道(322)。本实用新型提供的筒状进气装置,其可以简化进气管路的结构,有效提高气体分布均匀性。
搜索关键词: 匀气 出气 出气端 外筒体 本实用新型 进气装置 出气孔 进气端 内筒体 筒状 镀膜设备 进气管路 进气通道 气体分布 输送气体 通道距离 均匀性 内周壁 嵌套的 外周壁 筒体 连通
【主权项】:
1.一种筒状进气装置,其特征在于,包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32),其中,在所述内筒体(31)中设置有至少一组出气组,每组所述出气组包括多个出气孔(311);/n还包括匀气结构,所述匀气结构设置在所述外筒体(32)的内周壁与所述内筒体(31)的外周壁之间,且包括至少一条匀气通道,所述匀气通道的数量与所述出气组的数量相同,且一一对应地设置;所述匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212),各个所述出气端(3212)和相应的所述出气组中的各个所述出气孔(311)一一对应地连通;并且,所述匀气通道被设置为所述进气端(3211)与各个所述出气端(3212)之间的通道距离一致;/n在所述外筒体(32)中还设置有用于向各个所述匀气通道输送气体的进气通道(322)。/n
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