[实用新型]筒状进气装置及镀膜设备有效
申请号: | 201920812515.X | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN210001932U | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 王志升 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;H01L31/18 |
代理公司: | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 102200 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供的筒状进气装置及镀膜设备,包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32),在内筒体(31)中设置有至少一组出气组,其包括多个出气孔(311);还包括匀气结构,其设置在外筒体(32)的内周壁与内筒体(31)的外周壁之间,包括至少一条匀气通道,其数量与出气组的数量相同,且一一对应地设置;匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212),各个出气端(3212)和相应的出气组中的各个出气孔(311)连通;匀气通道被设置为进气端(3211)与各个出气端(3212)之间的通道距离一致;在外筒体(32)中还设置有用于向各个匀气通道输送气体的进气通道(322)。本实用新型提供的筒状进气装置,其可以简化进气管路的结构,有效提高气体分布均匀性。 | ||
搜索关键词: | 匀气 出气 出气端 外筒体 本实用新型 进气装置 出气孔 进气端 内筒体 筒状 镀膜设备 进气管路 进气通道 气体分布 输送气体 通道距离 均匀性 内周壁 嵌套的 外周壁 筒体 连通 | ||
【主权项】:
1.一种筒状进气装置,其特征在于,包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32),其中,在所述内筒体(31)中设置有至少一组出气组,每组所述出气组包括多个出气孔(311);/n还包括匀气结构,所述匀气结构设置在所述外筒体(32)的内周壁与所述内筒体(31)的外周壁之间,且包括至少一条匀气通道,所述匀气通道的数量与所述出气组的数量相同,且一一对应地设置;所述匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212),各个所述出气端(3212)和相应的所述出气组中的各个所述出气孔(311)一一对应地连通;并且,所述匀气通道被设置为所述进气端(3211)与各个所述出气端(3212)之间的通道距离一致;/n在所述外筒体(32)中还设置有用于向各个所述匀气通道输送气体的进气通道(322)。/n
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的