[实用新型]一种炉管及LPCVD设备有效

专利信息
申请号: 201920843270.7 申请日: 2019-06-05
公开(公告)号: CN210163522U 公开(公告)日: 2020-03-20
发明(设计)人: 陈海燕;李兵 申请(专利权)人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 215129 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种炉管及LPCVD设备,属于太阳能电池生产技术领域。LPCVD设备包括炉管。该炉管包括管体,管体内设置有进气管,进气管包括炉尾进气管和若干炉口进气管,炉尾进气管从管体的炉尾延伸至管体的中部,炉口进气管从管体的炉口延伸至管体的中部。炉口进气管以管体的中心轴线为中心呈环形均匀分布,炉口进气管的长度依次递减,炉尾进气管与最短的炉口进气管靠近。炉口进气管设置有若干炉口出气孔,炉口出气孔包括叉设置的第一孔和第二孔,第一孔的孔径大于第二孔的孔径。炉尾进气管设有若干炉尾出气孔,炉尾出气孔的孔径沿着炉尾至炉口的方向依次减小。本实用新型使得气体均匀分布于管体内,大大改善硅片之间和片内薄膜沉积的均匀性。
搜索关键词: 一种 炉管 lpcvd 设备
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