[实用新型]气体快速加热装置有效
| 申请号： | 201920860476.0 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN210718073U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | F24H3/08 | 分类号： | F24H3/08;F24H9/18;F24H9/20 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型是关于一种气体快速加热装置，包括：密闭的腔体；管路设置在所述腔体内，且所述管路包括第一支路和第二支路；所述第二支路远离所述第一支路设置，所述第一支路的进气端反应源连通，所述第一支路的出气端与所述腔体外的工艺腔室连通；所述第二支路的进气端封闭，所述第二支路的出气端与所述第一支路的出气端连通；加热棒，所述加热棒设置在所述腔体内，且所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成空间内；保温层，设置在所述腔体内壁上，且所述保温层用于对所述第一支路和所述第二支路的气体保温。本实用新型提供的气体快速加热装置，避免了反应物在从反应源到工艺室的管路中冷凝。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 快速 加热 装置 | ||
【主权项】：
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